一、熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601 描述：
MTCS2601傳感器由一個(gè)帶有四個(gè) MEMS 技術(shù)實(shí)現(xiàn)的 Ni-Pt 電阻器的微機(jī)械熱導(dǎo)率傳感器構(gòu)成。該傳感器安裝在微型 SMD 封 裝中，卷帶或托盤(pán)包裝供貨。這款 MEMS TC 傳感器與簡(jiǎn)單的低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路相結(jié)合，非常適用于要求超低功耗、 使用壽命長(zhǎng)且無(wú)需維護(hù)的 OEM 氣體探測(cè)器應(yīng)用。該設(shè)備可測(cè)量空氣中二或三種氣體的混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，例 如空氣中的二氧化碳、氬氣或氟利昂等熱導(dǎo)率較低的氣體，或諸如氫氣，氦氣或甲烷等具有較高熱導(dǎo)率的氣體。
二、 熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601特點(diǎn)：
MEMS 物理傳感原理穩(wěn)定可靠，無(wú)化學(xué)反應(yīng)，基于熱導(dǎo)率變化工作。
量程為 100 ppm 至 100％，具體取決于應(yīng)用和氣體的熱導(dǎo)率。
無(wú)化學(xué)反應(yīng)，表示濃度的線性信號(hào)無(wú)磁滯
在同一硅芯片上將補(bǔ)償與加熱電阻匹配出色的溫度補(bǔ)償。
傳感器體積小至< 0.1 cm3
物理電阻傳感原理工作，傳感器耐用且平均故障間隔時(shí)間（MTBF）長(zhǎng)，可承受高強(qiáng)度沖擊 (>1000 G)
基于 MEMS 的硅傳感器集成電阻大（如 250 歐姆）而加熱質(zhì)量小，因此傳感器的工作功耗極低（<8mw< span="">）。
響應(yīng)速度快，電子帶寬大，響應(yīng)時(shí)間短至< 50 ms
三、 熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601應(yīng)用：
- 通過(guò)測(cè)量二元混合物或擬二元?dú)怏w混合物（空氣中的 H2、He 或 CO2） 熱導(dǎo)率來(lái)確定氣體濃度
- 監(jiān)控天然氣中的 CH4濃度，用于燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)控制
- 檢測(cè)制冷劑氣體，例如氟利昂（R-11、R-12、R-21、R-22）、CFC 或 CF3CH2F 氟乙烷（R-134 或 R-404），以監(jiān)控冷卻系統(tǒng)泄漏情況
- 空氣中的氫氣(0 ~5% 或以上)、氦氣(0 – 5000 ppm) 或氙氣測(cè)量
- 安保（火警、CO2監(jiān)控、爆炸性氣體監(jiān)控）
- 工序控制、園藝、食品儲(chǔ)存、發(fā)酵過(guò)程控制
- 作為微型電阻規(guī)用于 Micro vacuum device as miniature Pirani gauge
- 基于熱導(dǎo)率、空氣中使用的微型絕對(duì)濕度傳感器
- 安保目的的 CO2 安全監(jiān)控 (0-4%) 、火警或室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)控
